Michael R. Wertheimer
et Ludvik Martinu
Chapitre de livre (1993)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| ISBN: | 9781489911308 |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38292/ |
| Éditeurs ou éditrices: | Carlos M. Ferreira et Michel Moisan |
| Maison d'édition: | Springer |
| DOI: | 10.1007/978-1-4899-1130-8_29 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1130-8_29 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:22 |
| Citer en APA 7: | Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (1993). Ion Bombardment Effects in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas. Dans Ferreira, C. M., & Moisan, M. (édit.), Microwave Discharges: Fundamentals and Applications (Vol. 302, p. 465-479). https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1130-8_29 |
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