Ion Bombardment Effects in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas

Michael R. Wertheimer et Ludvik Martinu

Chapitre de livre (1993)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38292/
Éditeurs ou éditrices:	Carlos M. Ferreira et Michel Moisan
Maison d'édition:	Springer
DOI:	10.1007/978-1-4899-1130-8_29
URL officielle:	https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1130-8_29
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:22

Citer en APA 7:	Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (1993). Ion Bombardment Effects in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas. Dans Ferreira, C. M., & Moisan, M. (édit.), Microwave Discharges: Fundamentals and Applications (Vol. 302, p. 465-479). https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1130-8_29
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