Ion Bombardment Effects in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas

Michael R. Wertheimer, Ludvik Martinu

Chapitre de livre (1993)

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ISBN:
9781489911308
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Éditeurs ou éditrices:
Maison d'édition:
Springer
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38292
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Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Wertheimer, M. R., & Martinu, L. (1993). Ion Bombardment Effects in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas. Dans Ferreira, C. M., & Moisan, M. (édit.), Microwave Discharges: Fundamentals and Applications (Vol. 302, p. 465-479). https://doi.org/10.1007/978-1-4899-1130-8_29

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