Ludvik Martinu
et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1993)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38282/ |
| Titre de la revue: | Materials Science Forum (vol. 140-142) |
| Maison d'édition: | Trans Tech Publications Ltd. |
| DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.140-142.405 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.140... |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:32 |
| Citer en APA 7: | Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1993). Ion Assisted Thin Film Growth in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas. Materials Science Forum, 140-142, 405-420. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.140-142.405 |
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