Hard carbon films deposited under high ion flux

Ludvik Martinu, A. Raveh, A. Domingue, L. Bertrand, Jolanta-Ewa Sapieha, S. C. Gujrathi et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1992)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38281/
Titre de la revue:	Thin Solid Films (vol. 208, no 1)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0040-6090(92)90945-8
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990945-8
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	07 oct. 2024 09:49

Citer en APA 7:	Martinu, L., Raveh, A., Domingue, A., Bertrand, L., Sapieha, J.-E., Gujrathi, S. C., & Wertheimer, M. R. (1992). Hard carbon films deposited under high ion flux. Thin Solid Films, 208(1), 42-47. https://doi.org/10.1016/0040-6090%2892%2990945-8
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