Jolanta-Ewa Sapieha, O. M. Küttel, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer
Article de revue (1991)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
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Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38268/ |
Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 9, no 6) |
Maison d'édition: | American Vacuum Society |
DOI: | 10.1116/1.577158 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.577158 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:22 |
Citer en APA 7: | Sapieha, J.-E., Küttel, O. M., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1991). Dual‐frequency N₂ and NH₃ plasma modification of polyethylene and polyimide. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 9(6), 2975-2981. https://doi.org/10.1116/1.577158 |
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