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Dual‐frequency N₂ and NH₃ plasma modification of polyethylene and polyimide

Jolanta-Ewa Sapieha, O. M. Küttel, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer

Article de revue (1991)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38268/
Titre de la revue: Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 9, no 6)
Maison d'édition: American Vacuum Society
DOI: 10.1116/1.577158
URL officielle: https://doi.org/10.1116/1.577158
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:22
Citer en APA 7: Sapieha, J.-E., Küttel, O. M., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1991). Dual‐frequency N₂ and NH₃ plasma modification of polyethylene and polyimide. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 9(6), 2975-2981. https://doi.org/10.1116/1.577158

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