Dual‐frequency N₂ and NH₃ plasma modification of polyethylene and polyimide

Sapieha, Jolanta-Ewa; Küttel, O. M.; Martinu, Ludvik; Wertheimer, Michael R.; Sapieha, Jolanta-Ewa; Küttel, O. M.; Martinu, Ludvik; Wertheimer, Michael R.

Dual‐frequency N₂ and NH₃ plasma modification of polyethylene and polyimide

Jolanta-Ewa Sapieha , O. M. Küttel, Ludvik Martinu , Michael R. Wertheimer

Article de revue (1991)

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Département:

Département de génie physique

Unité de recherche:

GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/38268/

Titre de la revue :

Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films ( vol. 9 , no 6 )

Maison d'édition:

American Vacuum Society

DOI:

10.1116/1.577158

URL officielle:

https://doi.org/10.1116/1.577158

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:38268

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:26

Dernière modification:

14 oct. 2026 13:29

Citer en APA 7:

Sapieha, J.-E., Küttel, O. M., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (1991). Dual‐frequency N₂ and NH₃ plasma modification of polyethylene and polyimide. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 9(6), 2975-2981. https://doi.org/10.1116/1.577158

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