<  Retour au portail Polytechnique Montréal

Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC

Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, A. Raveh et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1993)

Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie
Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38266/
Nom de la conférence: 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93)
Lieu de la conférence: Paris, France
Date(s) de la conférence: 1993-06-06 - 1993-06-11
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:32
Citer en APA 7: Sapieha, J.-E., Martinu, L., Raveh, A., & Wertheimer, M. R. (juin 1993). Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC [Communication écrite]. 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93), Paris, France.

Statistiques

Aucune statistique n'est disponible.

Actions réservées au personnel

Afficher document Afficher document