Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC

Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, A. Raveh, Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1993)

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Nom de la conférence:
9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93)
Lieu de la conférence:
Paris, France
Date(s) de la conférence:
1993-06-06 - 1993-06-11
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38266
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Sapieha, J.-E., Martinu, L., Raveh, A., & Wertheimer, M. R. (juin 1993). Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC [Communication écrite]. 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93), Paris, France.

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