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Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC

Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, A. Raveh et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1993)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38266/
Nom de la conférence: 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93)
Lieu de la conférence: Paris, France
Date(s) de la conférence: 1993-06-06 - 1993-06-11
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:22
Citer en APA 7: Sapieha, J.-E., Martinu, L., Raveh, A., & Wertheimer, M. R. (juin 1993). Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC [Communication écrite]. 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93), Paris, France.

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