Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, A. Raveh et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1993)
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublieDépartement: | Département de génie physique |
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URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38266/ |
Nom de la conférence: | 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93) |
Lieu de la conférence: | Paris, France |
Date(s) de la conférence: | 1993-06-06 - 1993-06-11 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:22 |
Citer en APA 7: | Sapieha, J.-E., Martinu, L., Raveh, A., & Wertheimer, M. R. (juin 1993). Dual-Frequency Plasma Deposition of Hard Materials: Si-Compounds and DLC [Communication écrite]. 9th International Colloquium on Plasma processes (CIP 93), Paris, France. |
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