Daniel Poitras, O. Kuttel, A. Raveh, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1991)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38207/ |
| Nom de la conférence: | 10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1991) |
| Lieu de la conférence: | Bochum, Germany |
| Date(s) de la conférence: | 1991-08-04 - 1991-08-09 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc10/co... |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 29 juil. 2025 15:41 |
| Citer en APA 7: | Poitras, D., Kuttel, O., Raveh, A., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (août 1991). Comparison of Process in Radio-Frequency and Microwave Frequency Plasma by Optical Emission Spectroscopy [Communication écrite]. 10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1991), Bochum, Germany. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc10/content/10/10-2.1-46.pdf |
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