Comparison of Process in Radio-Frequency and Microwave Frequency Plasma by Optical Emission Spectroscopy

Daniel Poitras, O. Kuttel, A. Raveh, Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1991)

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Nom de la conférence:
10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1991)
Lieu de la conférence:
Bochum, Germany
Date(s) de la conférence:
1991-08-04 - 1991-08-09
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38207
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:29
Citer en APA 7:
Poitras, D., Kuttel, O., Raveh, A., Sapieha, J.-E., Martinu, L., & Wertheimer, M. R. (août 1991). Comparison of Process in Radio-Frequency and Microwave Frequency Plasma by Optical Emission Spectroscopy [Communication écrite]. 10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 1991), Bochum, Germany. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc10/content/10/10-2.1-46.pdf

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