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Comparison of Process in Radio-Frequency and Microwave Frequency Plasma by Optical Emission Spectroscopy

D. Poitras, O. Kuttel, A. Raveh et Michael R. Wertheimer

Communication écrite (1991)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/38207/
Nom de la conférence: 10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-10)
Lieu de la conférence: Bochum, Germany
Date(s) de la conférence: 1991-08-04 - 1991-08-09
URL officielle: https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc10/co...
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:32
Citer en APA 7: Poitras, D., Kuttel, O., Raveh, A., & Wertheimer, M. R. (août 1991). Comparison of Process in Radio-Frequency and Microwave Frequency Plasma by Optical Emission Spectroscopy [Communication écrite]. 10th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-10), Bochum, Germany. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc10/content/10/10-2.1-46.pdf

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