R. Claude, M. Moisan, Michael R. Wertheimer
Article de revue (2011)
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Titre de la revue
:
MRS Proceedings
(
vol.
68
)
Maison d'édition:
Cambridge University Press
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:38147
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:
08 oct. 2026 17:54
Citer en APA 7:
Claude, R., Moisan, M., & Wertheimer, M. R. (2011). RF and Microwave Plasma Deposition of Polymer Films: Effect of Frequency. MRS Proceedings, 68. https://doi.org/10.1557/proc-68-85
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