R. Claude, M. Moisan et Michael R. Wertheimer
Article de revue (2011)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/38147/ |
| Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 68) |
| Maison d'édition: | Cambridge University Press |
| DOI: | 10.1557/proc-68-85 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-68-85 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:12 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 07:00 |
| Citer en APA 7: | Claude, R., Moisan, M., & Wertheimer, M. R. (2011). RF and Microwave Plasma Deposition of Polymer Films: Effect of Frequency. MRS Proceedings, 68. https://doi.org/10.1557/proc-68-85 |
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