RF and Microwave Plasma Deposition of Polymer Films: Effect of Frequency

R. Claude, M. Moisan et Michael R. Wertheimer

Article de revue (2011)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/38147/
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 68)
Maison d'édition:	Cambridge University Press
DOI:	10.1557/proc-68-85
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-68-85
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:12
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:22

Citer en APA 7:	Claude, R., Moisan, M., & Wertheimer, M. R. (2011). RF and Microwave Plasma Deposition of Polymer Films: Effect of Frequency. MRS Proceedings, 68. https://doi.org/10.1557/proc-68-85
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