Surface studies of laser processing of W on GaAs from WF₆

M. Tabbal, A. Lecours, R. Izquierdo, Michel Meunier et Arthur Yelon

Communication écrite (1991)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35830/
Nom de la conférence:	1991 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:	Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:	1991-12-02 - 1991-12-06
Titre de la revue:	MRS Proceedings (vol. 236)
Maison d'édition:	Materials Research Society
DOI:	10.1557/proc-236-117
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-236-117
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:19

Citer en APA 7:	Tabbal, M., Lecours, A., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (décembre 1991). Surface studies of laser processing of W on GaAs from WF₆ [Communication écrite]. 1991 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 236. https://doi.org/10.1557/proc-236-117
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