Surface studies of laser processing of W on GaAs from WF₆

M. Tabbal, A. Lecours, R. Izquierdo, Michel Meunier, Arthur Yelon

Communication écrite (1991)

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Nom de la conférence:
1991 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:
Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:
1991-12-02 - 1991-12-06
Titre de la revue :
MRS Proceedings ( vol. 236 )
Maison d'édition:
Materials Research Society
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35830
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Tabbal, M., Lecours, A., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (décembre 1991). Surface studies of laser processing of W on GaAs from WF₆ [Communication écrite]. 1991 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 236. https://doi.org/10.1557/proc-236-117

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