M. Tabbal, R. Izquierdo, Michel Meunier
et Arthur Yelon
Communication écrite (1992)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| Organismes subventionnaires: | Fonds FCAR of Québec, NSERC/CRSNG |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35829/ |
| Nom de la conférence: | 1992 MRS Fall Meeting |
| Lieu de la conférence: | Boston, Mass. |
| Date(s) de la conférence: | 1992-11-30 - 1992-12-04 |
| Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 282) |
| Maison d'édition: | Materials Research Society |
| DOI: | 10.1557/proc-282-191 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-282-191 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Tabbal, M., Izquierdo, R., Meunier, M., & Yelon, A. (novembre 1992). Surface Interaction Between WF₆ and GaAs Under UV Laser Illumination [Communication écrite]. 1992 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. https://doi.org/10.1557/proc-282-191 |
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