Michel Meunier
, C. Lavoie, S. Boivin, R. Izquierdo et Patrick Desjardins
Article de revue (1992)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35793/ |
| Titre de la revue: | Applied Surface Science (vol. 54) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/0169-4332(92)90016-q |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990016-q |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Meunier, M., Lavoie, C., Boivin, S., Izquierdo, R., & Desjardins, P. (1992). Modeling KrF excimer laser induced deposition of titanium from titanium tetrachloride. Applied Surface Science, 54, 52-55. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2892%2990016-q |
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