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Hydrogenated amorphous silicon produced by laser induced chemical vapor deposition of silane

Michel Meunier, T. R. Gattuso, D. Adler et J. S. Haggerty

Article de revue (1983)

Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal

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URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/35791/
Titre de la revue: Applied Physics Letters (vol. 43, no 3)
Maison d'édition: American Institute of Physics
DOI: 10.1063/1.94324
URL officielle: https://doi.org/10.1063/1.94324
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 avr. 2024 11:28
Citer en APA 7: Meunier, M., Gattuso, T. R., Adler, D., & Haggerty, J. S. (1983). Hydrogenated amorphous silicon produced by laser induced chemical vapor deposition of silane. Applied Physics Letters, 43(3), 273-273. https://doi.org/10.1063/1.94324

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