Hydrogenated amorphous silicon produced by laser induced chemical vapor deposition of silane

Michel Meunier, T. R. Gattuso, David Adler, J. S. Haggerty

Article de revue (1983)

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Titre de la revue :
Applied Physics Letters ( vol. 43 , no 3 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35791
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Meunier, M., Gattuso, T. R., Adler, D., & Haggerty, J. S. (1983). Hydrogenated amorphous silicon produced by laser induced chemical vapor deposition of silane. Applied Physics Letters, 43(3), 273-273. https://doi.org/10.1063/1.94324

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