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A model for the laser-induced chemical vapor deposition of hydrogenated amorphous silicon

Michel Meunier, J. H. Flint, D. Adler et J. S. Haggerty

Communication écrite (1983)

Document publié alors que les auteurs ou autrices n'étaient pas affiliés à Polytechnique Montréal

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URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/35789/
Nom de la conférence: Laser-Controlled Chemical Processing of Surfaces, MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence: Boston, Massachusetts
Date(s) de la conférence: 1983-11-14 - 1983-11-17
Titre de la revue: MRS Proceedings (vol. 29)
Maison d'édition: Materials Research Society
DOI: 10.1557/proc-29-397
URL officielle: https://doi.org/10.1557/proc-29-397
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:26
Dernière modification: 05 mai 2023 15:40
Citer en APA 7: Meunier, M., Flint, J. H., Adler, D., & Haggerty, J. S. (novembre 1983). A model for the laser-induced chemical vapor deposition of hydrogenated amorphous silicon [Communication écrite]. Laser-Controlled Chemical Processing of Surfaces, MRS Fall Meeting, Boston, Massachusetts. Publié dans MRS Proceedings, 29. https://doi.org/10.1557/proc-29-397

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