Michel Meunier
, J. H. Flint, D. Adler et J. S. Haggerty
Communication écrite (1983)
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35789/ |
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| Nom de la conférence: | Laser-Controlled Chemical Processing of Surfaces, MRS Fall Meeting |
| Lieu de la conférence: | Boston, Massachusetts |
| Date(s) de la conférence: | 1983-11-14 - 1983-11-17 |
| Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 29) |
| Maison d'édition: | Materials Research Society |
| DOI: | 10.1557/proc-29-397 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-29-397 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Meunier, M., Flint, J. H., Adler, D., & Haggerty, J. S. (novembre 1983). A model for the laser-induced chemical vapor deposition of hydrogenated amorphous silicon [Communication écrite]. Laser-Controlled Chemical Processing of Surfaces, MRS Fall Meeting, Boston, Massachusetts. Publié dans MRS Proceedings, 29. https://doi.org/10.1557/proc-29-397 |
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