A. Lecours, R. Izquierdo, M. Tabbal, Michel Meunier
et Arthur Yelon
Article de revue (1993)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35764/ |
| Titre de la revue: | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures (vol. 11, no 1) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.586725 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.586725 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Lecours, A., Izquierdo, R., Tabbal, M., Meunier, M., & Yelon, A. (1993). Laser induced deposition of tungsten on GaAs from WF₆. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 11(1), 51-54. https://doi.org/10.1116/1.586725 |
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