A. Lecours, R. Izquierdo, M. Tabbal, Michel Meunier
, Arthur Yelon
Article de revue (1993)
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Titre de la revue
:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
(
vol.
11
,
no
1
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35764
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Lecours, A., Izquierdo, R., Tabbal, M., Meunier, M., & Yelon, A. (1993). Laser induced deposition of tungsten on GaAs from WF₆. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 11(1), 51-54. https://doi.org/10.1116/1.586725
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