Laser induced deposition of tungsten on GaAs from WF₆

A. Lecours, R. Izquierdo, M. Tabbal, Michel Meunier et Arthur Yelon

Article de revue (1993)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/35764/
Titre de la revue:	Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures (vol. 11, no 1)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.586725
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.586725
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:28

Citer en APA 7:	Lecours, A., Izquierdo, R., Tabbal, M., Meunier, M., & Yelon, A. (1993). Laser induced deposition of tungsten on GaAs from WF₆. Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 11(1), 51-54. https://doi.org/10.1116/1.586725
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