R. Izquierdo, Patrick Desjardins
, N. Elyaagoubi et Michel Meunier
Communication écrite (1992)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| Organismes subventionnaires: | Fonds pour la Formation des Chercheurs, Aide à la Recherche (FCAR) du Québec, CRSNG / NSERC |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35744/ |
| Nom de la conférence: | Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III |
| Lieu de la conférence: | Boston, Mass. |
| Date(s) de la conférence: | 1992-11-30 - 1992-12-04 |
| Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 282) |
| Maison d'édition: | Materials Research Society |
| DOI: | 10.1557/proc-282-209 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-282-209 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Izquierdo, R., Desjardins, P., Elyaagoubi, N., & Meunier, M. (novembre 1992). Laser-Assisted Low-Temperature Deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. Chemical Perspectives of Microelectronic Materials III, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 282. https://doi.org/10.1557/proc-282-209 |
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