Patrick Desjardins
, R. Izquierdo et Michel Meunier
Article de revue (1992)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35724/ |
| Titre de la revue: | Canadian Journal of Physics (vol. 70, no 10-11) |
| Maison d'édition: | Canadian Science Publishing |
| DOI: | 10.1139/p92-142 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1139/p92-142 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1992). Dépôt par laser de WSiₓ sur du TiN à partir de WF₆ et de SiH₄. [Laser deposition of WSiₓ on TiN using a mixture of WF₆ and SiH₄]. Canadian Journal of Physics, 70(10-11), 898-903. https://doi.org/10.1139/p92-142 |
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