Patrick Desjardins
, Ricardo Izquierdo, Michel Meunier
Article de revue (1992)
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Département:
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Titre de la revue
:
Canadian Journal of Physics
(
vol.
70
,
no
10-11
)
Maison d'édition:
Canadian Science Publishing
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35724
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1992). Dépôt par laser de WSiₓ sur du TiN à partir de WF₆ et de SiH₄. [Laser deposition of WSiₓ on TiN using a mixture of WF₆ and SiH₄]. Canadian Journal of Physics, 70(10-11), 898-903. https://doi.org/10.1139/p92-142
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