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Dépôt par laser de WSiₓ sur du TiN à partir de WF₆ et de SiH₄

Patrick Desjardins, R. Izquierdo and Michel Meunier

Article (1992)

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Department: Department of Engineering Physics
PolyPublie URL: https://publications.polymtl.ca/35724/
Journal Title: Canadian Journal of Physics (vol. 70, no. 10-11)
Publisher: Canadian Science Publishing
DOI: 10.1139/p92-142
Official URL: https://doi.org/10.1139/p92-142
Date Deposited: 18 Apr 2023 15:26
Last Modified: 05 Apr 2024 11:28
Cite in APA 7: Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1992). Dépôt par laser de WSiₓ sur du TiN à partir de WF₆ et de SiH₄. [Laser deposition of WSiₓ on TiN using a mixture of WF₆ and SiH₄]. Canadian Journal of Physics, 70(10-11), 898-903. https://doi.org/10.1139/p92-142

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