Patrick Desjardins
, R. Izquierdo et Michel Meunier
Communication écrite (1991)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35723/ |
| Nom de la conférence: | 1991 MRS Fall Meeting |
| Lieu de la conférence: | Boston, Mass. |
| Date(s) de la conférence: | 1991-12-02 - 1991-12-06 |
| Titre de la revue: | MRS Proceedings (vol. 236) |
| Maison d'édition: | Materials Research Society |
| DOI: | 10.1557/proc-236-127 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1557/proc-236-127 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:19 |
| Citer en APA 7: | Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (décembre 1991). Diode laser induced chemical vapor deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. 1991 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 236. https://doi.org/10.1557/proc-236-127 |
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