Patrick Desjardins
, R. Izquierdo, Michel Meunier
Communication écrite (1991)
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Département:
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Nom de la conférence:
1991 MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:
Boston, Mass.
Date(s) de la conférence:
1991-12-02 - 1991-12-06
Titre de la revue
:
MRS Proceedings
(
vol.
236
)
Maison d'édition:
Materials Research Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35723
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Desjardins, P., Izquierdo, R., & Meunier, M. (décembre 1991). Diode laser induced chemical vapor deposition of WSiₓ from WF₆ and SiH₄ [Communication écrite]. 1991 MRS Fall Meeting, Boston, Mass.. Publié dans MRS Proceedings, 236. https://doi.org/10.1557/proc-236-127
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