Susan D. Allen, J. H. Flint, Michel Meunier
, D. Adler et J. S. Haggerty
Communication écrite (1984)
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| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/35679/ |
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| Nom de la conférence: | Laser-Assisted Deposition, Etching, and Doping |
| Lieu de la conférence: | Los Angeles, Calif. |
| Date(s) de la conférence: | 1984-01-24 |
| Maison d'édition: | SPIE - International Society for Optical Engineering |
| DOI: | 10.1117/12.939437 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.939437 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:28 |
| Citer en APA 7: | Allen, S. D., Flint, J. H., Meunier, M., Adler, D., & Haggerty, J. S. (janvier 1984). A-S:H films produced from laser heated gases: Process characteristics and film properties [Communication écrite]. Laser-Assisted Deposition, Etching, and Doping, Los Angeles, Calif.. https://doi.org/10.1117/12.939437 |
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