Susan D. Allen, John H. Flint, Michel Meunier
, David Adler, J. S. Haggerty
Communication écrite (1984)
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Nom de la conférence:
Laser-Assisted Deposition, Etching, and Doping
Lieu de la conférence:
Los Angeles, Calif.
Date(s) de la conférence:
1984-01-24
Maison d'édition:
SPIE - International Society for Optical Engineering
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:35679
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:25
Citer en APA 7:
Allen, S. D., Flint, J. H., Meunier, M., Adler, D., & Haggerty, J. S. (janvier 1984). A-S:H films produced from laser heated gases: Process characteristics and film properties [Communication écrite]. Laser-Assisted Deposition, Etching, and Doping, Los Angeles, Calif.. https://doi.org/10.1117/12.939437
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