Susan D. Allen, J. H. Flint, Michel Meunier, D. Adler et J. S. Haggerty
Communication écrite (1984)
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Nom de la conférence: | Laser-Assisted Deposition, Etching, and Doping |
Lieu de la conférence: | Los Angeles, Calif. |
Date(s) de la conférence: | 1984-01-24 |
Maison d'édition: | SPIE - International Society for Optical Engineering |
DOI: | 10.1117/12.939437 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.939437 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:28 |
Citer en APA 7: | Allen, S. D., Flint, J. H., Meunier, M., Adler, D., & Haggerty, J. S. (janvier 1984). A-S:H films produced from laser heated gases: Process characteristics and film properties [Communication écrite]. Laser-Assisted Deposition, Etching, and Doping, Los Angeles, Calif.. https://doi.org/10.1117/12.939437 |
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