M. Panjan, S. Loquai, Jolanta-Ewa Sapieha
et Ludvik Martinu
Article de revue (2015)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/34943/ |
| Titre de la revue: | Plasma Sources Science and Technology (vol. 24, no 6) |
| Maison d'édition: | IOP Publishing |
| DOI: | 10.1088/0963-0252/24/6/065010 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1088/0963-0252/24/6/065010 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:07 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:18 |
| Citer en APA 7: | Panjan, M., Loquai, S., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2015). Non-uniform plasma distribution in dc magnetron sputtering : origin, shape and structuring of spokes. Plasma Sources Science and Technology, 24(6), 065010 (16 pages). https://doi.org/10.1088/0963-0252/24/6/065010 |
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