M. Panjan, S. Loquai, Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu
Article de revue (2015)
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Titre de la revue
:
Plasma Sources Science and Technology
(
vol.
24
,
no
6
)
Maison d'édition:
IOP Publishing
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:34943
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:07
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:24
Citer en APA 7:
Panjan, M., Loquai, S., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2015). Non-uniform plasma distribution in dc magnetron sputtering : origin, shape and structuring of spokes. Plasma Sources Science and Technology, 24(6), 065010 (16 pages). https://doi.org/10.1088/0963-0252/24/6/065010
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