Non-uniform plasma distribution in dc magnetron sputtering : origin, shape and structuring of spokes

M. Panjan, S. Loquai, Jolanta-Ewa Sapieha et Ludvik Martinu

Article de revue (2015)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/34943/
Titre de la revue:	Plasma Sources Science and Technology (vol. 24, no 6)
Maison d'édition:	IOP Publishing
DOI:	10.1088/0963-0252/24/6/065010
URL officielle:	https://doi.org/10.1088/0963-0252/24/6/065010
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:07
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:27

Citer en APA 7:	Panjan, M., Loquai, S., Sapieha, J.-E., & Martinu, L. (2015). Non-uniform plasma distribution in dc magnetron sputtering : origin, shape and structuring of spokes. Plasma Sources Science and Technology, 24(6), 065010 (16 pages). https://doi.org/10.1088/0963-0252/24/6/065010
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