Ludvik Martinu, Jolanta-Ewa Sapieha, O. M. Kuttel, A. Raveh et Michael R. Wertheimer
Communication écrite (1993)
Un lien externe est disponible pour ce documentDépartement: | Département de génie physique |
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URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/33035/ |
Nom de la conférence: | 40th National Symposium of the American Vacuum Society |
Lieu de la conférence: | Orlando, FL |
Date(s) de la conférence: | 1993-11-15 - 1993-11-19 |
Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 12, no 4, pt. 1) |
Maison d'édition: | American Vacuum Society |
DOI: | 10.1116/1.579322 |
URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.579322 |
Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
Dernière modification: | 05 avr. 2024 11:23 |
Citer en APA 7: | Martinu, L., Sapieha, J.-E., Kuttel, O. M., Raveh, A., & Wertheimer, M. R. (novembre 1993). Critical ion energy and ion flux in the growth of films by plasma-enhanced chemical-vapor deposition [Communication écrite]. 40th National Symposium of the American Vacuum Society, Orlando, FL. Publié dans Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 12(4, pt. 1). https://doi.org/10.1116/1.579322 |
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