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Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs

Michel Meunier, Marc Suys, Maleck Tabbal, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon et Edward Sacher

Article de revue (1994)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/33007/
Titre de la revue: Applied Surface Science (vol. 79, no 1-4)
Maison d'édition: Elsevier
DOI: 10.1016/0169-4332(94)90411-1
URL officielle: https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2990411-1
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:15
Citer en APA 7: Meunier, M., Suys, M., Tabbal, M., Izquierdo, R., Yelon, A., & Sacher, E. (1994). Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs. Applied Surface Science, 79(1-4), 208-214. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2990411-1

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