Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs

Michel Meunier, Marc Suys, Maleck Tabbal, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon, Edward Sacher

Article de revue (1994)

Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Applied Surface Science ( vol. 79 , no 1-4 )
Maison d'édition:
Elsevier
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33007
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:21
Citer en APA 7:
Meunier, M., Suys, M., Tabbal, M., Izquierdo, R., Yelon, A., & Sacher, E. (1994). Excimer laser-induced metallization for in situ processing on Si and GaAs. Applied Surface Science, 79(1-4), 208-214. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2990411-1

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document
Afficher document