Michel Meunier
, Maleck Tabbal, Marc Suys, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon, Edward Sacher et Suzie Poulin
Communication écrite (1993)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/33006/ |
| Nom de la conférence: | Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures |
| Lieu de la conférence: | Québec, Can |
| Date(s) de la conférence: | 1993-08-17 - 1993-08-19 |
| Maison d'édition: | Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE) |
| DOI: | 10.1117/12.167545 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1117/12.167545 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:26 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:15 |
| Citer en APA 7: | Meunier, M., Tabbal, M., Suys, M., Izquierdo, R., Yelon, A., Sacher, E., & Poulin, S. (août 1993). Excimer laser-induced metallization for Si and GaAs microelectronics [Communication écrite]. Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures, Québec, Can. https://doi.org/10.1117/12.167545 |
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