Excimer laser-induced metallization for Si and GaAs microelectronics

Michel Meunier, Maleck Tabbal, Marc Suys, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon, Edward Sacher et Suzie Poulin

Communication écrite (1993)

Un lien externe est disponible pour ce document

Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/33006/
Nom de la conférence:	Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures
Lieu de la conférence:	Québec, Can
Date(s) de la conférence:	1993-08-17 - 1993-08-19
Maison d'édition:	Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
DOI:	10.1117/12.167545
URL officielle:	https://doi.org/10.1117/12.167545
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:23

Citer en APA 7:	Meunier, M., Tabbal, M., Suys, M., Izquierdo, R., Yelon, A., Sacher, E., & Poulin, S. (août 1993). Excimer laser-induced metallization for Si and GaAs microelectronics [Communication écrite]. Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures, Québec, Can. https://doi.org/10.1117/12.167545
APA 7 (HTML)ASCII CitationAtomBibTeXDOIsDublin CoreEndNote (.ENW)MARC (ISO 2709/UTF-8) (.MRC)MARC (UTF-8) (.MRK8)MARC XMLMPEG-21 DIDLMultiline CSVOAI-ORE Resource Map (Atom Format)OPENAIREOpenURL ContextObjectOpenURL ContextObject in SpanRDF+N-TriplesRDF+N3RDF+XMLReferReference Manager (.RIS)Répertoire des publications (EndNote)Simple Metadata

Statistiques

Actions réservées au personnel