Michel Meunier
, Maleck Tabbal, Marc Suys, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon, Edward Sacher, Suzie Poulin
Communication écrite (1993)
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Département:
ISBN:
0819413046
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures
Lieu de la conférence:
Québec, Can
Date(s) de la conférence:
1993-08-17 - 1993-08-19
Maison d'édition:
Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:33006
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:26
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:21
Citer en APA 7:
Meunier, M., Tabbal, M., Suys, M., Izquierdo, R., Yelon, A., Sacher, E., & Poulin, S. (août 1993). Excimer laser-induced metallization for Si and GaAs microelectronics [Communication écrite]. Laser-Assisted Fabrication of Thin Films and Microstructures, Québec, Can. https://doi.org/10.1117/12.167545
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