Marc Suys, Ricardo Izquierdo, Edward Sacher et Michel Meunier
Communication écrite (1994)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/32823/ |
| Nom de la conférence: | Advanced Metallization for ULSI |
| Lieu de la conférence: | Austin, Texas, USA |
| Date(s) de la conférence: | 1994-10-04 - 1994-10-06 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:15 |
| Citer en APA 7: | Suys, M., Izquierdo, R., Sacher, E., & Meunier, M. (octobre 1994). Excimer laser chemical vapor deposition of copper from Cu(hfac) (TMVS) [Communication écrite]. Advanced Metallization for ULSI, Austin, Texas, USA. |
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