Marc Suys, Ricardo Izquierdo, Edward Sacher, Michel Meunier
Communication écrite (1994)
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Nom de la conférence:
Advanced Metallization for ULSI
Lieu de la conférence:
Austin, Texas, USA
Date(s) de la conférence:
1994-10-04 - 1994-10-06
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:32823
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:20
Citer en APA 7:
Suys, M., Izquierdo, R., Sacher, E., & Meunier, M. (octobre 1994). Excimer laser chemical vapor deposition of copper from Cu(hfac) (TMVS) [Communication écrite]. Advanced Metallization for ULSI, Austin, Texas, USA.
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