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Excimer laser chemical vapor deposition of copper from Cu(hfac) (TMVS)

Marc Suys, Ricardo Izquierdo, Edward Sacher et Michel Meunier

Communication écrite (1994)

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Département: Département de génie physique
Centre de recherche: GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/32823/
Nom de la conférence: Advanced Metallization for ULSI
Lieu de la conférence: Austin, Texas, USA
Date(s) de la conférence: 1994-10-04 - 1994-10-06
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:25
Dernière modification: 12 déc. 2023 16:19
Citer en APA 7: Suys, M., Izquierdo, R., Sacher, E., & Meunier, M. (octobre 1994). Excimer laser chemical vapor deposition of copper from Cu(hfac) (TMVS) [Communication écrite]. Advanced Metallization for ULSI, Austin, Texas, USA.

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