G. Kim, J.-L. Meunier et Frank Ajersch
Communication écrite (1995)
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| Renseignements supplémentaires: | Nom historique du département: Département de métallurgie et de génie des matériaux |
|---|---|
| Département: | Département de génie physique |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/32093/ |
| Nom de la conférence: | international symposium on plasma chemistry |
| Lieu de la conférence: | Minneapolis |
| Date(s) de la conférence: | 1995-01-01 - 1995-12-31 |
| URL officielle: | https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc12/co... |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:14 |
| Citer en APA 7: | Kim, G., Meunier, J.-L., & Ajersch, F. (janvier 1995). Effect of nitrogen on cathode spot characteristics in arc ion-plating of TiN [Communication écrite]. international symposium on plasma chemistry, Minneapolis. https://www.ispc-conference.org/ispcdocs/ispc12/content/12/12-2113.pdf |
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