Laser processing of tungsten from WF₆ and SiH₄

Michel Meunier, Patrick Desjardins, Maleck Tabbal, Nada Elyaagoubi, Ricardo Izquierdo et Arthur Yelon

Article de revue (1995)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/31910/
Titre de la revue:	Applied Surface Science (vol. 86, no 1)
Maison d'édition:	Elsevier
DOI:	10.1016/0169-4332(94)00455-2
URL officielle:	https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2900455-2
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:25
Dernière modification:	25 sept. 2024 16:14

Citer en APA 7:	Meunier, M., Desjardins, P., Tabbal, M., Elyaagoubi, N., Izquierdo, R., & Yelon, A. (1995). Laser processing of tungsten from WF₆ and SiH₄. Applied Surface Science, 86(1), 475-483. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2900455-2
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