Michel Meunier
, Patrick Desjardins, Maleck Tabbal, Nada Elyaagoubi, Ricardo Izquierdo et Arthur Yelon
Article de revue (1995)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/31910/ |
| Titre de la revue: | Applied Surface Science (vol. 86, no 1) |
| Maison d'édition: | Elsevier |
| DOI: | 10.1016/0169-4332(94)00455-2 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2900455-2 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:25 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 06:52 |
| Citer en APA 7: | Meunier, M., Desjardins, P., Tabbal, M., Elyaagoubi, N., Izquierdo, R., & Yelon, A. (1995). Laser processing of tungsten from WF₆ and SiH₄. Applied Surface Science, 86(1), 475-483. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2900455-2 |
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