Laser processing of tungsten from WF₆ and SiH₄

Meunier, Michel; Desjardins, Patrick; Tabbal, Maleck; Elyaagoubi, Nada; Izquierdo, Ricardo; Yelon, Arthur; Meunier, Michel; Desjardins, Patrick; Tabbal, Maleck; Elyaagoubi, Nada; Izquierdo, Ricardo; Yelon, Arthur

Laser processing of tungsten from WF₆ and SiH₄

Michel Meunier , Patrick Desjardins, Maleck Tabbal, Nada Elyaagoubi, Ricardo Izquierdo, Arthur Yelon

Article de revue (1995)

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Département:

Département de génie physique

Adresse URL de PolyPublie:

https://publications.polymtl.ca/31910/

Titre de la revue :

Applied Surface Science ( vol. 86 , no 1 )

Maison d'édition:

Elsevier

DOI:

10.1016/0169-4332(94)00455-2

URL officielle:

https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2900455-2

OAI:

oai:publications.polymtl.ca:31910

ORCID

Date du dépôt:

18 avr. 2023 15:25

Dernière modification:

14 oct. 2026 13:19

Citer en APA 7:

Meunier, M., Desjardins, P., Tabbal, M., Elyaagoubi, N., Izquierdo, R., & Yelon, A. (1995). Laser processing of tungsten from WF₆ and SiH₄. Applied Surface Science, 86(1), 475-483. https://doi.org/10.1016/0169-4332%2894%2900455-2

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