Mémoire de maîtrise (1996)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Directeurs ou directrices: | John F. Currie |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/31571/ |
| Université/École: | École Polytechnique de Montréal |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:24 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:13 |
| Citer en APA 7: | Antaki, R. (1996). Intégration de la gravure anisotrope du silicium dans la fabrication d'un micro-administrateur pharmaceutique [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal]. |
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