Silicon contamination of diamond films deposited on silicon substrates in fused silica based reactors

C. F. M. Borges, S. Schelz, L. St Onge, M. Moisan, Ludvik Martinu

Article de revue (1996)

Accéder à ce document
Lien externe
Ce document n'est pas archivé dans PolyPublie, mais peut être consulté chez l'éditeur officiel
Adresse URL de PolyPublie:
Titre de la revue :
Journal of Applied Physics ( vol. 79 , no 6 )
Maison d'édition:
American Institute of Physics
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31482
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:18
Citer en APA 7:
Borges, C. F. M., Schelz, S., St Onge, L., Moisan, M., & Martinu, L. (1996). Silicon contamination of diamond films deposited on silicon substrates in fused silica based reactors. Journal of Applied Physics, 79(6), 3290-3298. https://doi.org/10.1063/1.361228

Statistiques

Dimensions

Actions réservées au personnel

Afficher document
Afficher document