Plasma deposition of low-stress electret films for electroacoustic and solar cell applications

Jolanta-Ewa Sapieha, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer, P. Gunther, R. Schellin, C. Thielemann et G. M. Sessler

Article de revue (1996)

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Département:	Département de génie physique
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/31171/
Titre de la revue:	Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 14, no 5)
Maison d'édition:	American Vacuum Society
DOI:	10.1116/1.580199
URL officielle:	https://doi.org/10.1116/1.580199
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:	05 avr. 2024 11:20

Citer en APA 7:	Sapieha, J.-E., Martinu, L., Wertheimer, M. R., Gunther, P., Schellin, R., Thielemann, C., & Sessler, G. M. (1996). Plasma deposition of low-stress electret films for electroacoustic and solar cell applications. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 14(5), 2775-2779. https://doi.org/10.1116/1.580199
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