Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer, P. Günther, R. Schellin, C. Thielemann, G. M. Sessler
Article de revue (1996)
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Titre de la revue
:
Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films
(
vol.
14
,
no
5
)
Maison d'édition:
American Vacuum Society
DOI:
URL officielle:
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31171
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:18
Citer en APA 7:
Sapieha, J.-E., Martinu, L., Wertheimer, M. R., Günther, P., Schellin, R., Thielemann, C., & Sessler, G. M. (1996). Plasma deposition of low-stress electret films for electroacoustic and solar cell applications. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 14(5), 2775-2779. https://doi.org/10.1116/1.580199
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