Jolanta-Ewa Sapieha
, Ludvik Martinu, Michael R. Wertheimer, P. Günther, R. Schellin, C. Thielemann et G. M. Sessler
Article de revue (1996)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/31171/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 14, no 5) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.580199 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.580199 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:24 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 06:51 |
| Citer en APA 7: | Sapieha, J.-E., Martinu, L., Wertheimer, M. R., Günther, P., Schellin, R., Thielemann, C., & Sessler, G. M. (1996). Plasma deposition of low-stress electret films for electroacoustic and solar cell applications. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 14(5), 2775-2779. https://doi.org/10.1116/1.580199 |
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