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Low-pressure plasma processing for optoelectronics applications

Ludvik Martinu

Communication écrite (1996)

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Département: Département de génie physique
URL de PolyPublie: https://publications.polymtl.ca/31053/
Nom de la conférence: Functional Photonic and Fiber Devices
Lieu de la conférence: San Jose, CA, USA
Date(s) de la conférence: 1996-01-30 - 1996-02-01
Maison d'édition: Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
DOI: 10.1117/12.229949
URL officielle: https://doi.org/10.1117/12.229949
Date du dépôt: 18 avr. 2023 15:24
Dernière modification: 25 sept. 2024 16:12
Citer en APA 7: Martinu, L. (janvier 1996). Low-pressure plasma processing for optoelectronics applications [Communication écrite]. Functional Photonic and Fiber Devices, San Jose, CA, USA. https://doi.org/10.1117/12.229949

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