Low-pressure plasma processing for optoelectronics applications

Ludvik Martinu

Communication écrite (1996)

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ISBN:
0819420697
Adresse URL de PolyPublie:
Nom de la conférence:
Functional Photonic and Fiber Devices
Lieu de la conférence:
San Jose, CA, USA
Date(s) de la conférence:
1996-01-30 - 1996-02-01
Maison d'édition:
Society of photo-optical instrumentation engineers (SPIE)
OAI:
oai:publications.polymtl.ca:31053
ORCID
Date du dépôt:
18 avr. 2023 15:24
Dernière modification:
14 oct. 2026 13:17
Citer en APA 7:
Martinu, L. (janvier 1996). Low-pressure plasma processing for optoelectronics applications [Communication écrite]. Functional Photonic and Fiber Devices, San Jose, CA, USA. https://doi.org/10.1117/12.229949

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