B. Shen, M. Allard, S. Boughaba, Ricardo Izquierdo et Michel Meunier
Article de revue (1996)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/30876/ |
| Titre de la revue: | Canadian Journal of Physics (vol. 74, no S1) |
| Maison d'édition: | Canadian Science Publishing |
| DOI: | 10.1139/p96-832 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1139/p96-832 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:24 |
| Dernière modification: | 08 avr. 2025 06:51 |
| Citer en APA 7: | Shen, B., Allard, M., Boughaba, S., Izquierdo, R., & Meunier, M. (1996). Laser-micromachining silicon three-dimensional structures, tunnels, and cavities. Canadian Journal of Physics, 74(S1), 54-58. https://doi.org/10.1139/p96-832 |
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