Mechanical and dielectric properties of low permittivity dielectric materials

Avni Alptekin, G. Czeremuszkin, Ludvik Martinu, Michel Meunier, Edward Sacher et M. DiRenzo

Communication écrite (1996)

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Département:	Département de génie physique
Centre de recherche:	GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces
URL de PolyPublie:	https://publications.polymtl.ca/30726/
Nom de la conférence:	MRS Fall Meeting
Lieu de la conférence:	Boston, MA, USA
Date(s) de la conférence:	1996-12-02 - 1996-12-03
Maison d'édition:	MRS
DOI:	10.1557/proc-443-79
URL officielle:	https://doi.org/10.1557/proc-443-79
Date du dépôt:	18 avr. 2023 15:23
Dernière modification:	08 avr. 2025 02:21

Citer en APA 7:	Alptekin, A., Czeremuszkin, G., Martinu, L., Meunier, M., Sacher, E., & DiRenzo, M. (décembre 1996). Mechanical and dielectric properties of low permittivity dielectric materials [Communication écrite]. MRS Fall Meeting, Boston, MA, USA. https://doi.org/10.1557/proc-443-79
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