Jolanta-Ewa Sapieha
, D. Poitras, Ludvik Martinu, N. L. S. Yamasaki et C. W. Lantman
Article de revue (1997)
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| Département: | Département de génie physique |
|---|---|
| Centre de recherche: | GCM - Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces |
| URL de PolyPublie: | https://publications.polymtl.ca/30341/ |
| Titre de la revue: | Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films (vol. 15, no 3) |
| Maison d'édition: | American Vacuum Society |
| DOI: | 10.1116/1.580792 |
| URL officielle: | https://doi.org/10.1116/1.580792 |
| Date du dépôt: | 18 avr. 2023 15:23 |
| Dernière modification: | 25 sept. 2024 16:12 |
| Citer en APA 7: | Sapieha, J.-E., Poitras, D., Martinu, L., Yamasaki, N. L. S., & Lantman, C. W. (1997). Effect of interface on the characteristics of functional films deposited on polycarbonate in dual-frequency plasma. Journal of vacuum science and technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 15(3), 985-991. https://doi.org/10.1116/1.580792 |
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